高分辨率臺(tái)式掃描電鏡的工作原理基于物理光學(xué)的成像原理。從電子槍中發(fā)射出的電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡被聚焦成極細(xì)的電子束，這個(gè)電子束在的電磁透鏡上方的雙偏轉(zhuǎn)線圈的驅(qū)動(dòng)下，在樣品表面進(jìn)行柵網(wǎng)狀掃描。
當(dāng)電子束打在樣品上時(shí)，會(huì)產(chǎn)生各種信號(hào)電子，包括二次電子、背散射電子、吸收電子、透過(guò)電子、特征X射線等。這些信號(hào)電子被相應(yīng)的探測(cè)器接收，并被轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，然后通過(guò)電信號(hào)處理器進(jìn)行處理，形成圖像。
二次電子主要來(lái)自樣品表面5-10納米的區(qū)域，能量較低，通常用于反映樣品表面的形貌；背散射電子來(lái)自樣品較深處，能量較高，反映的是原子序數(shù)的信息，通常用于反映樣品的化學(xué)成分。
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡的維護(hù)保養(yǎng)方法：
1.密封圈的清潔與潤(rùn)滑
-定期清潔：每隔三個(gè)月使用無(wú)塵布蘸取少量酒精輕輕擦拭密封圈，直至無(wú)塵布上無(wú)黑色污漬為止。
-涂覆硅脂：清潔后，在密封圈上均勻涂覆一層薄薄的高真空硅脂，以保持其良好的密封性能。
2.燈絲的維護(hù)與更換
-觀察飽和程度：經(jīng)常觀察燈絲的飽和程度，當(dāng)發(fā)現(xiàn)燈絲電流不在飽和狀態(tài)時(shí)，適當(dāng)手動(dòng)調(diào)整燈絲電流，使燈絲處于飽和狀態(tài)。
-半自動(dòng)調(diào)整：選擇半自動(dòng)調(diào)整電子槍，避免全自動(dòng)調(diào)整時(shí)燈絲電流過(guò)大，消耗燈絲，影響壽命。
3.環(huán)境條件的控制
-溫度與濕度：實(shí)驗(yàn)室環(huán)境溫度應(yīng)長(zhǎng)期維持在20~24°C之間，濕度保持在50%以下。
-室內(nèi)清潔：保持室內(nèi)清潔衛(wèi)生，嚴(yán)禁在室內(nèi)喝水、飲食，以避免污染和損害設(shè)備。
4.日常檢查與維護(hù)
-檢查隔夜真空：每日開機(jī)時(shí)，檢查系統(tǒng)的隔夜真空情況，隔夜真空值以保持在150Pa以內(nèi)為佳。
-樣品腔室密封：一旦隔夜真空值超過(guò)250Pa，需要立即檢查樣品腔室是否存在密封問(wèn)題。
5.電子槍和鏡筒的維護(hù)
-防塵措施：在更換燈絲或清洗光闌時(shí)，使用無(wú)塵布遮檔好鏡筒和電子槍敞口區(qū)域，防止粉塵落入。
-保持高真空度：隨時(shí)注意鏡筒是否存在微小泄露，并保證各級(jí)泵的性能，必要時(shí)更換泵油。
6.樣品的準(zhǔn)備
-樣品干燥：待觀察樣品應(yīng)盡量干燥、無(wú)揮發(fā)性物質(zhì)，以避免影響鏡筒的真空度和腐蝕燈絲。
